留后路？荷兰政府宣布限芯片技术制造出口；阿斯麦回应：不涵盖所有浸没式DUV（组图）

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据路透社说，这一宣布标志着半导体行业的创新领导者荷兰人首次采取具体行动，采用华盛顿敦促的规则来阻碍中国的芯片制造行业，以减缓中国的军事发展。

荷兰对外贸易和发展合作大臣施赖内马赫（Liesje Schreinemacher）致信国会立法者，概述了政府拟议的限制，据美联社说，这些限制是在现有的半导体技术出口管制之外提出的。

施赖内马赫写道，“鉴于技术发展和地缘政治背景，政府已经得出结论，为了（国家间）安全，有必要扩大现有的特定半导体生产设备的出口管制”。

世界最先进芯片光刻机生产商荷兰阿斯麦ASML公司标识2023年1月31日荷兰费尔德霍芬VeldhovenAP - Peter Dejong

荷兰首相马克-吕特（Mark Rutte）今年1月到访白宫，与美国总统乔-拜登讨论了荷兰公司阿斯麦（ASML）制造的先进芯片机器和其他议题。

拜登政府在去年10月对美国制造芯片的工具实施了出口管制，以限制中国将获得的先进芯片，用于制造武器、侵犯人权和提高中国军事后勤的速度和准确性。美国还敦促日本与荷兰等盟国也做出同样的努力。

中国政府批评这些限制举措违反了国际贸易中的市场原则。

ASML主流浸没式DUV设备 官网截图

阿斯麦回应：不涵盖所有浸没式DUV

据财联社报道，ASML官网提供的信息指出，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT：1980Di、TWINSCAN NXT：2000i、TWINSCAN NXT：2050i。

其中，2000i和2050i这两款显然是ASML公司在声明所指的出口管制“先进”产品，而相对最落后的那一款TWINSCAN NXT：1980Di，则有望被排除在出口管制措施以外。

ASML主流浸没式DUV设备 官网截图

根据ASML官网的介绍，TWINSCAN NXT:1980Di的分辨率可以达到≤38nm，每小时可以至少生产275片晶圆。

在实际生产和使用中，通过多重曝光，TWINSCAN NXT:1980Di依然可以支持到7nm左右的工艺生产，当然相比于更先进的光刻机型号，其在生产先进工艺时的步骤将更为复杂，成本将更高，良率可能也会有损失。

全球晶圆厂在使用1980Di光刻机型号时，大多是生产14nm及以上工艺的芯片，很少去生产14nm以下的工艺。但可以肯定的是，用这一台TWINSCAN NXT：1980Di光刻机，生产28nm、14nm仍能完全满足需要。这预示着目前就已大量采用NXT:1980Di进行成熟制程制造的晶圆厂将不会受到明显影响，但在先进工艺方面，可能难以完全满足需求。

ASML在公告中也表示，先进程度相对较低的浸没式光刻系统，已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。

国内券商的一则短评亦验证了上述判断。东方证券认为，中国10nm及更成熟制程光刻机的进口并不受本次限制影响。ASML申明该限制并不是针对所有浸没式光刻机，而是仅针对其中的最先进制程设备，即NXT 2000i及更先进机型。NXT 2000i最小工作制程为7nm，而未被禁运的NXT 1980i等设备仍可支持最低至10nm的芯片生产。也就是说，荷兰实际实施的禁运措施比美国去年10月的芯片管制新规更加宽松，当时发布的管制新规禁运美国14nm及以下设备。

ASML指出，基于今日的公告、公司对荷兰政府许可证政策的预期以及当前的市场形势，公司预计这些管制措施不会对我们已发布的2023年财务展望，以及公司的长期展望产生重大性影响。

荷兰出口新规争议

据法广网报道，一位熟悉审议情况的美国官员说，拜登政府还接近于收紧对美国公司的一些海外投资的规定，以努力限制中国获得可能提高其军事力量的技术能力。

美联社说，预期的荷兰限制出口行动是白宫在世界两个最大经济体之间的关系日益紧张的情况下针对中国军事和技术部门的最新努力。

路透社说，荷兰贸易大臣施赖内马赫在给议会的信中表示，有关的限制措施将在夏季之前出台。

她并保证"尽可能谨慎和准确地......采取措施，以避免价值链受到不必要的干扰"。

总部位于荷兰南部城镇费尔德霍芬的阿斯麦ASML公司，是世界上唯一使用极紫外光刻技术制造先进半导体芯片的机器生产商。荷兰政府自2019年起，禁止阿斯麦ASML向中国出口其部分机器，但该公司仍在向中国交付质量较差的光刻机系统。

荷兰阿斯麦ASML公司在中国北京和深圳设有研究和制造中心，并在香港设有区域总部。

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